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SHOT FLOORPLAN 中的定位mark 和test key 做法和注意事项

SHOT FLOORPLAN 中的定位mark 和test key 做法和注意事项
📅 发布时间:2026/6/18 23:21:06

SHOT FLOORPLAN :

VIS VIS 一个SHOT 是指单次光刻时所朴曝光的区域,一般FAB 会规定一个最大的极限面积要求,然后设计人员在此面积下进行DIE 的flooplan ,可以是单颗的DIE 进行重复,也会进行主片和副片的插花die 的形式,在验证和得片率之间进行取舍,如果是验证过量产的芯片,会尽量减少插花die 的数量。成本上是mask 制作是一次性的,插花die 在验证时尽量要保证少改动底层的AA POLY 层次,可以预留metal option 方便后续改版。还有就是主die 和 插花die 的layer mask 选择上要选择 主>插花 ,避免产生两个flow ,不能生产在同一片wafer 上,例如在VIS 厂时1P3M 与1P4M flow 是不兼容的,CTM2 与 CTM3 无法做在同一片wafer。
关于test key 与 mark gds ,test key 是可以做在scribe line 里的,这里是需要与foundry 进行沟通的,fab 自己也是需要放置一些test key / test pattern / 定位mark 等,如果需要特殊要求,如wafer on wafer ,(需要镜像对称),fab 会按设计公司要求设计需要的mark gds 与 test key gds ,这样在SHOT FLOORPLAN 是,不仅需要进行die 的摆放,还需要对mark gds 和test pattern 进行floorplan ,其中设计到大量的重复数据操作,如提取大量的gds 的location list ,floorplan 示意图制作,以及对mark & test——key 进行打包 和撒dummy ,本文将详细介绍一下操作步骤和关键事项,以及分享一些有用的脚本等。 关于test key 与 mark gds ,test key 是可以做在scribe line 里的,这里是需要与foundry 进行沟通的,fab 自己也是需要放置一些test key / test pattern / 定位mark 等,如果需要特殊要求,如wafer on wafer ,(需要镜像对称),fab 会按设计公司要求设计需要的mark gds 与 test key gds ,这样在SHOT FLOORPLAN 是,不仅需要进行die 的摆放,还需要对mark gds 和test pattern 进行floorplan ,其中设计到大量的重复数据操作,如提取大量的gds 的location list ,floorplan 示意图制作,以及对mark & test——key 进行打包 和撒dummy ,本文将详细介绍一下操作步骤和关键事项,以及分享一些有用的脚本等。
关于打包建cell 的注意事项 :就是坐标与cell 的边长是统一放在SHOT 下的,为了防止放错,应该防止cell view 时禁止翻转,即![image],ROtation 为0 度(https://img2024.cnblogs.com/blog/2938433/202511/2938433-20251126111742496-1189761807.png)
location list 脚本 1764127243490_3368e225519c413dbf6dacfb2f4dfeb8
得到location list 后由python 脚本得到示意图 (脚本未成功,本人依旧手绘,但一定可行)
撒dummy ,shell 脚本,可以将多个dummy cell 同时建在同一个run shell 指令脚本中,一次性跑完 image
inport gds ,将建好的dummy 都存到一个文件夹内,导入的时候可以一次性选择导入所有gds 文件 (PS 这么多年我也是第一次知道可以多选)
也是一样建一个shell 指令文档,然后一次性操作所有文件 image
注意事项,在导入多个dummy gds 时一定要记得在option 选择rename ,否则会覆盖掉导致错乱

image

正则表达式生成&测试&替换--在线工具

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